所謂真空熱處理是工件在10-1~10-2Pa真空介質(zhì)中進行加熱到所需要的溫度，然后在不同介質(zhì)中以不同冷速進行冷卻的熱處理方法。 那么，真空泵系統(tǒng)熱處理需要注意哪些問題呢？

1、真空泵處置鈦合金時不宜用氮氣作為冷卻氣體，由于鈦和氮在高溫下反響，構(gòu)成金黃色的氮化鈦。

2、真空泵活動銜接局部全部采用O型橡膠圈密封銜接，此局部均通水冷卻。

3、真空泵工件在真空狀態(tài)下淬火，應運用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。

4、真空爐的頤養(yǎng)應在真空或充純氮狀態(tài)下，防止平常不用時吸氣吸潮。

5、國內(nèi)真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h ，國外某些企業(yè)的規(guī)范為0.67Pa/h

6、真空加熱以輻射為主，工件在爐內(nèi)應該堅持間距。

7、真空泵升溫過程中工件及爐內(nèi)資料會放氣，使真空度降落。

8、真空回火、真空退火、真空固溶處置及真空時效的加熱溫度普通與常規(guī)處置時加熱溫度相同。

9、真空回火爐應該具有快冷安裝。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa流量應可調(diào)。

10、冷卻氣體：鋼普通采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。

11、真空泵放入工件后，普通先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱。

真空熱處理被當代熱處理界稱為高效、節(jié)能和無污染的清潔熱處理。真空熱處理的零件具有無氧化，無脫碳、脫氣、脫脂，表面質(zhì)量好，變形小，綜合力學性能高，可靠性好（重復性好，壽命穩(wěn)定）等一系列優(yōu)點。因此，真空熱處理受到國內(nèi)外廣泛的重視和普遍的應用。并把真空熱處理普及程度作為衡量一個國家熱處理技術(shù)水平的重要標志。真空熱處理技術(shù)是近四十年以來熱處理工藝發(fā)展的熱點，也是當今先進制造技術(shù)的重要領域